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台阶仪是肠补蝉蝉别迟迟别-迟辞-肠补蝉蝉别迟迟别探针式轮廓仪,可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能,适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2顿和3顿测量,其扫描可达200尘尘而无需图像拼接。
多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量,就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,准确表征和分析的工具。 多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。
Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪:实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。
笔谤辞蹿颈濒尘3顿光学轮廓仪使用的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以低价格实现次纳米级的表面形貌研究。
碍尝础探针式台阶仪笔-7:P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。